Ученые из Нижнего Новгорода запатентовали очистку кремния для чипов

Работа, стартовавшая в 2024 году в рамках программы «Приоритет-2030», вышла на этап опытно-технологической отработки. Ученые из лаборатории инженерной химии НИИ химии ННГУ научились управлять размером, формой и однородностью наночастиц, добиваясь минимального содержания примесей. Этот контроль напрямую влияет на качество и производительность будущих электронных устройств, так как именно от характеристик абразива зависит точность полировки пластин.

На текущий момент исследователи подготовили технологическую линию и регламент выпуска продукта. Разработка уже передана индустриальному партнеру для проведения испытаний. По словам руководителя проекта Ксении Отвагиной, создание собственных материалов с заданными параметрами — необходимый шаг для развития отечественной микроэлектроники. Ректор вуза Олег Трофимов добавил, что университет стремится обеспечить полный цикл: от фундаментальных изысканий до серийного внедрения, отвечая на актуальный запрос отрасли в условиях ограничений поставок.